AR-WV300 (双臂) / AR-SV300 (单臂)
晶圆尺寸 : ~300mm
A & B - 轴 : 510mm / Φ 轴 : 330 deg. / Z 轴 : 50mm (单臂 20mm)
搬运重量(kg) : 1kg (单臂 0.7kg)
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型号 |
轴 |
负载 |
玻璃尺寸 |
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AR-WV300 |
4 |
0.7Kg |
~300mm |
